陜西半導(dǎo)體項目加速推進 填補8英寸制造領(lǐng)域空白
來源：西安晚報 2024-12-26 10:25
正在施工的高新區(qū)8英寸高性能特色工藝半導(dǎo)體集成電路生產(chǎn)線項目 記者 王健 攝
作為陜西發(fā)展半導(dǎo)體集成電路產(chǎn)業(yè)的重點項目、2024年市級重點建設(shè)項目，由陜建七建集團施工的高新區(qū)8英寸高性能特色工藝半導(dǎo)體集成電路生產(chǎn)線建設(shè)項目建設(shè)進度條持續(xù)刷新。
12月25日，在該項目舉行的媒體開放日中，記者了解到，項目將于今年年底前全面封頂，建成后將填補我省8英寸半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的空白。
巨型“華夫板”結(jié)構(gòu)
展現(xiàn)納米級潔凈廠房建造
機器轟鳴，成群結(jié)隊的工程機械來回穿梭，頭戴安全帽、身系安全帶的建筑工人在各自崗位上忙碌著……在現(xiàn)場施工管理人員的精準調(diào)度下，數(shù)十臺各類機械分頭作業(yè)，數(shù)百名工人有條不紊的奏響著建筑“進行曲”。這是記者在位于西安市高新綜合保稅區(qū)內(nèi)，8英寸高性能特色工藝半導(dǎo)體集成電路生產(chǎn)線建設(shè)項目施工現(xiàn)場看到的一幕。
在工作人員的帶領(lǐng)下，記者進入到項目核心區(qū)域生產(chǎn)廠房的施工現(xiàn)場。剛走到二樓，抬頭望向天花板，一塊呈現(xiàn)出網(wǎng)格狀紋理的巨型華夫板很是吸睛?！斑@是三萬多組華夫筒拼接的，也是項目最特殊的地方。”項目技術(shù)質(zhì)量組副組長王海松介紹說，與其他行業(yè)的高科技廠房建設(shè)相比，半導(dǎo)體行業(yè)工程建設(shè)極具特殊性，為確保后期生產(chǎn)設(shè)備安裝精度以及電子元件制造過程中不受到塵埃和其他微粒的污染，空氣潔凈度和生產(chǎn)車間內(nèi)的抗微震性需要嚴格把控。此次建設(shè)的廠房為高潔凈度生產(chǎn)廠房，核心生產(chǎn)區(qū)域可達納米級“十級”潔凈度（ISO 1級）潔凈度，比醫(yī)院最高等級手術(shù)室潔凈度的要求提高了100倍。
為此，該項目需要采用目前先進的華夫板（利用樓板內(nèi)孔洞形成回風(fēng)通道的樓板）樓面，內(nèi)含80厘米和70厘米兩種高度共計30249個華夫筒，一次性組合完成14000余平方米的華夫板結(jié)構(gòu)層?！芭c普通樓板相比，華夫板的中間預(yù)留了大量圓柱形垂直孔洞，以形成回風(fēng)通道，從而建立起潔凈空調(diào)通風(fēng)系統(tǒng)。潔凈車間中含微粒的氣流經(jīng)由華夫板可以重新過濾出潔凈且穩(wěn)定的氣流。”項目機電負責(zé)人王冠說，華夫板施工質(zhì)量的好壞將直接影響到整個廠房潔凈車間使用功能的發(fā)揮，因此如何控制華夫板的施工質(zhì)量是本工程的重中之重。
記者了解到，為達到任意2米范圍內(nèi)高差小于2毫米的高精地坪要求，確保混凝土面堅硬不起灰、沒有蜂窩麻面，施工團隊對模板安裝各環(huán)節(jié)進行標高控制；混凝土澆筑前采用精密水準儀及靠尺，對已安裝完成的華夫筒進行復(fù)核和驗收；混凝土澆筑過程中，采用激光整平儀配合找平；混凝土澆筑找平完成后，再次使用精密水準儀配合2米靠尺，每50厘米方格網(wǎng)復(fù)核一次樓面標高，及時進行標高調(diào)整，最終達到高精水準。
高效施工填補
陜西半導(dǎo)體制造領(lǐng)域空白
隨后，記者跟隨工作人員沿著樓梯繼續(xù)向上，到達生產(chǎn)廠房第三層的施工區(qū)域時，巨大的鋼結(jié)構(gòu)屋架就映入眼簾。“為滿足后期半導(dǎo)體設(shè)備能夠更便捷地進行移動與更換，項目房蓋鋼桁架跨度設(shè)計就比較大，單跨跨度就能達到43.2米和46.8米，整榀桁架重達140噸，其安裝工程屬于超過一定規(guī)模的危險性較大的分部分項工程?！表椖拷?jīng)理李虎讓說。
這么大的體量，如何采取有效的安全技術(shù)措施，確保鋼屋架的吊裝？為找到最合適的方案，項目團隊根據(jù)施工現(xiàn)場的特點，決定采用汽車吊上樓面拼裝的施工方案，將廠房劃分為4個施工段，每個施工段配合2臺50噸汽車吊吊裝，大大提高了施工效率，共計4000多噸的鋼結(jié)構(gòu)僅用一個月就完成了施工。
據(jù)悉，8英寸高性能特色工藝半導(dǎo)體集成電路生產(chǎn)線建設(shè)項目總建筑面積約17.39萬平方米；由生產(chǎn)廠房、生產(chǎn)調(diào)試廠房、綜合動力站、特氣站、硅烷站及各類庫房等17棟單體組成?！半娮訌S房建設(shè)工期短、節(jié)奏快、質(zhì)量要求高、資金量投入大，這也就對建設(shè)者的項目管理提出了更高的要求。在建設(shè)過程中，我們投入了大量的人力，廠房施工中工人數(shù)量最多時能達到1300余人，為了調(diào)度如此龐大的施工團隊和土建、鋼構(gòu)、機電、工藝設(shè)備以及潔凈工程等多個工序，項目指揮部采取了一系列精細化管理措施和資源配置計劃?！表椖恐笓]部現(xiàn)場常務(wù)執(zhí)行指揮長楊曉棟說。
也正因如此，項目從地基處理到主體結(jié)構(gòu)建設(shè)，從綁扎鋼筋到混凝土澆筑，每一個環(huán)節(jié)都能如期順利實施并完成，僅6個月就實現(xiàn)了項目主體封頂。未來項目建成后，將彌補“陜西芯”制造業(yè)短板，增強陜西集成電路產(chǎn)業(yè)競爭力和聚集力，促進產(chǎn)業(yè)上下游順暢銜接。
近年來，“中國屏”“中國芯”等高科技電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展極大緩解了我國曾經(jīng)“缺芯少屏”的尷尬，隨著我國不斷加大高科技電子廠房的投入，這些代表民族工業(yè)核心競爭力的背后，少不了“超級廠房”的保駕護航，這些彰顯中國制造崛起騰飛的“超級廠房”的建設(shè)也吸引了眾多目光。楊曉棟說：“在陜西高科技電子廠房的高效建設(shè)與核心技術(shù)快速提升，科技電子產(chǎn)業(yè)競爭力不斷增強的發(fā)展趨勢下，我們將繼續(xù)深入研究高精廠房的建造技術(shù)，以強大的專業(yè)能力為陜西制造保駕護航，以品質(zhì)助力并‘建’證‘中國芯’‘陜西芯’的進步和發(fā)展?！?/p>
記者 龔偉芳
