再添“芯”引擎 陜西這個半導體項目建設進度條持續(xù)刷新中
來源:西部網(wǎng) 2024-12-25 10:56
項目效果圖
西部網(wǎng)訊 作為陜西發(fā)展半導體集成電路產(chǎn)業(yè)的重點項目,由陜建七建集團施工的8英寸高性能特色工藝半導體集成電路生產(chǎn)線建設項目建設進度條在持續(xù)刷新。近日,記者獲悉,該項目將于今年年底前全面封頂,建成后將填補陜西省8英寸半導體制造領域的空白。
走進項目工地,可以看到身穿安全裝備的建筑工人們忙碌穿梭,他們或是操作著大型機械設備,或是在進行細節(jié)處的焊接與安裝,每一道工序都嚴格遵循著既定計劃與質量標準,安全監(jiān)督員不時穿梭其間,確保施工安全無虞。
記者了解到,8英寸高性能特色工藝半導體集成電路生產(chǎn)線建設項目位于西安市高新綜合保稅區(qū)內,總建筑面積約17.39萬平方米,由生產(chǎn)廠房、生產(chǎn)調試廠房、綜合動力站、特氣站、硅烷站及各類庫房等17棟單體組成。
項目施工現(xiàn)場
項目建成后主要服務于技術密集型的半導體產(chǎn)業(yè),為了滿足電子無塵潔凈廠房的生產(chǎn)要求,此次建設的廠房為高潔凈度生產(chǎn)廠房,核心生產(chǎn)區(qū)域可達“十級”潔凈度(ISO 1級)潔凈度,所謂“十級(ISO 1級)”潔凈度,即代表空氣粒子濃度,0.1μm濃度≤10個,0.2μm濃度≤2個,這是潔凈度的最高等級,比醫(yī)院最高等級手術室潔凈度的要求提高了100倍。
該項目技術質量組副組長王海松告訴記者,為保證生產(chǎn)設備的安裝精度,項目廠房建設采用板厚內含70厘米、80厘米兩種規(guī)格的華夫筒的華夫板(利用樓板內孔洞形成回風通道的樓板),面積達14000余平方米的華夫板高低偏差嚴格控制在2毫米內。
“項目建成投用后,芯片生產(chǎn)設備置于華夫板之上,整車間利用新風系統(tǒng)送氣,送風單元保證垂直氣流,并通過華夫板回風通道回流,循環(huán)運行,最終保證車間潔凈度?!蓖鹾K烧f。
項目經(jīng)理李虎讓說,為滿足后期半導體設備能夠更便捷地進行移動與更換,項目房蓋鋼桁架跨度較大,單跨跨度就能達到43.2米和46.8米,因安裝工程屬于超過一定規(guī)模的危險性較大的分部分項工程,項目團隊采取有效的安全技術措施確保鋼屋架的吊裝,將上廠房劃分為4個施工段,每個施工段配合2臺50噸汽車吊用上樓面拼裝,極大提高了施工效率。
陜建七建集團8英寸高性能半導體項目指揮部現(xiàn)場常務執(zhí)行指揮長楊曉棟說,該項目建設工期短、節(jié)奏快、資金量投入大。近半年,他們平均每天投入施工人員1300余人,在保證零安全事故的前提下,完成了14000平華夫板的施工,完成了5萬平高精地坪的精細化施工,總體上完成了約17萬平的混凝士結構施工?!拔磥眄椖拷ǔ珊?,將彌補陜西芯制造業(yè)短板,增強陜西集成電路產(chǎn)業(yè)競爭力和聚集力,促進產(chǎn)業(yè)上下游順暢銜接。”